Los tubos de vidrio de cuarzo de gran diámetro generalmente se refieren a aquellos con un diámetro exterior de más de 100 mm, e incluso hasta 500 mm o más. Debido a sus propiedades físicas y químicas únicas, tienen aplicaciones indispensables en muchos campos industriales y tecnológicos de alta gama.
Lianyungang Shengfan Quartz Product Co.,Ltd es un fabricante profesional de productos de cuarzo，puede soportar la personalización.
La empresa cuenta con líneas de producción de procesamiento de fuego maduras y un equipo de I+D, incluidas líneas de producción de procesamiento de tubos de cuarzo de gran diámetro, líneas de producción de instrumentos de cuarzo, líneas de producción de barcos de cuarzo, líneas de producción de piezas de soldadura de semiconductores fotovoltaicos, etc. La empresa también está equipada con un conjunto completo de equipos de procesamiento en frío.
Para las líneas de producción de procesamiento de tubos de cuarzo de gran diámetro, la empresa puede fabricar un diámetro máximo de DE 1000 mm y una longitud de 5000 mm. La tolerancia del diámetro puede ser la mejor +/-0,2 mm, la planitud es de +/-0,2 mm.
La principal aplicación de los tubos de cuarzo de gran diámetro es:
1. La industria de los semiconductores:
En la fabricación de chips, los tubos de cuarzo son los consumibles clave para procesos como la difusión, la oxidación y el recocido.
· Tubos de horno de difusión horizontal: Esta es la aplicación más clásica. Los tubos de cuarzo de gran diámetro sirven como cámara de reacción, y las obleas de silicio se colocan dentro de los tubos. En condiciones de alta temperatura, se introducen gases especiales (como oxígeno, nitrógeno, argón, etc.) para realizar la oxidación térmica y formar una capa de dióxido de silicio, o para introducir impurezas para modificar las propiedades eléctricas del silicio. El diámetro de los tubos del horno debe ser lo suficientemente grande como para acomodar el "barco de cuarzo" que transporta una gran cantidad de obleas de silicio.
· Horno de tubo vertical: Con el avance de la tecnología, el proceso vertical se ha convertido en la corriente principal. Aquí, los tubos de cuarzo de gran diámetro sirven como cámaras de proceso, y las obleas de silicio se colocan verticalmente dentro de los tubos para procesos como LPCVD (Deposición Química de Vapor a Baja Presión) y difusión. Estos procesos tienen requisitos extremadamente altos para la redondez, la verticalidad y la calidad intrínseca de los tubos de cuarzo.
2. Industria fotovoltaica (fabricación de células solares)
Similar a la industria de los semiconductores, se utiliza para la fabricación de células de silicio cristalino de grado solar.
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