Los portadores de obleas de cuarzo de alta pureza se convierten en consumibles básicos para hornos de vacío-Amy
2026/07/10
Los portadores de obleas de cuarzo de alta pureza (barcos de cuarzo) son accesorios esenciales dentro de los hornos de vacío de semiconductores para procesos de recocido, LPCVD, oxidación y difusión.
Hechos de 99,995% de sílice fundido, cuentan con muy pocas impurezas metálicas para evitar la contaminación de las obleas bajo vacío.los portadores se mantienen dimensionalmente estables en ciclos térmicos repetidos de 1000-1200 °C, resistente a los golpes térmicos y a la deformación.
Químicamente inerte al flúor, los gases ácidos y portadores, las superficies lisas pulidas reducen la pérdida de partículas y los arañazos de las astillas.Las ranuras de precisión mantienen las obleas uniformemente espaciadas para un flujo uniforme de calor y gas, estabilizando el grosor de la película y el rendimiento eléctrico.
Los soportes de cuarzo domésticos coinciden con la calidad importada con tiempos de entrega más cortos y costos más bajos.apoyo a la producción en masa de chips, células solares y materiales optoelectrónicos.
