Tubo de cuarzo CVD para cliente-Amy de semiconductores turcos

1. Descripción general del proyecto

• Cliente: fabricante turco de equipos CVD
• Producto: Tubo de cuarzo de sílice fundida de alta pureza
• Material: cuarzo bajo en hidroxilo JGS2
• Aplicación: Cámara de reacción de alta temperatura para recubrimiento de obleas

2. Desafíos del cliente

1. Los tubos de cuarzo ordinarios se desvitrrifican fácilmente con un calentamiento continuo de 1100 °C.
2. El espesor desigual de la pared afectó la uniformidad del calentamiento y la calidad de la oblea.
3. Los certificados de prueba de materiales separados y los informes de dimensiones complicaban las auditorías de fábrica.
4. El largo plazo de producción debido al antiguo proveedor retrasó la entrega del equipo.

3. Nuestras soluciones

1. Adopte materia prima JGS2 con bajo contenido de hidroxilo para resistir el empañamiento a alta temperatura.
2. Conformado rotatorio de precisión para controlar la tolerancia del espesor de la pared dentro de ±0,1 mm.
3. Combine el material TC y los datos de inspección dimensional en un informe completo.
4. Organice una línea de producción dedicada para acortar el ciclo de entrega.

4. Resultados de la cooperación

• Sin desvitrificación después de un funcionamiento prolongado del horno, lo que mejora el rendimiento de las obleas.
• Pedidos al por mayor mensuales estables después de las pruebas de prueba.
• Procedimientos de auditoría simplificados gracias a los documentos de certificación integrados.
• El cliente nos presentó a dos socios locales de semiconductores.

5. Conocimiento del mercado