Caso de proyecto de tubo de cuarzo con bridas de alta pureza personalizado | Tubo de sílice fundida con brida integrada para reactor de vacío de horno tubular CVD semiconductor-sara
Publicado el: June 22, 2026
Caso del proyecto: tubo de cristal de cuarzo con flanges de alta pureza personalizado
Resumen del caso
Este caso cubre la producción de lotes de tubos de cuarzo con bridas personalizadas para un fabricante de equipos de semiconductores en el extranjero.Tubos de sílice fundido resistentes a altas temperaturas con bridas de cuarzo integradas para su cámara de reacción CVD y horno de recocido a alta temperaturaProporcionamos una personalización completa de una sola parada incluyendo el tamaño del tubo, el diseño del orificio del perno de la brida, el grosor de la pared y el recocido de alivio de tensión a alta temperatura,Resolviendo sus problemas de larga data de fugas de tuberías, alta contaminación por impurezas y frecuentes agrietamientos de tubos durante el ciclo térmico.
Puntos de dolor del cliente antes de la cooperación
- Los tubos de vidrio de borosilicato originales se deforman a una temperatura de trabajo superior a 900 °C, causando fugas en las juntas de las bridas y un ambiente de vacío inestable.
- Los tubos de cuarzo soldados ordinarios sin recocido se agrietan fácilmente después de repetidos ciclos de frío y calor, el alto costo de reemplazo y la pérdida de tiempo de inactividad de la producción.
- Tolerancia dimensional incontrolada de las bridas, mala compatibilidad con los accesorios de sellado metálicos del cliente, bajo rendimiento de procesamiento.
- La materia prima de cuarzo de baja pureza trajo contaminación de iones metálicos, lo que afectó la precisión del procesamiento de las obleas.
Nuestra solución de tubos de brida de cuarzo personalizada
- Selección del material: Adopte silicio fundido sintético de alta pureza al 99,99% con bajo contenido de hidroxilo, sin impurezas metálicas, compatible con el proceso ultralimpio de semiconductores.
- Flange de soldadura en caliente integrada: Flange de cuarzo de fusión integral en un solo extremo / ambos extremos del cuerpo del tubo, costura de soldadura de alta resistencia, totalmente recocida para eliminar la tensión interna, resistir la descarga térmica.
- Mecanizado CNC de precisión: diámetro exterior personalizado, espesor de pared, longitud del tubo, diámetro exterior de la brida, posición del orificio del perno y apertura con una tolerancia estricta de ± 0,02 mm.
- Tratamiento de la superficie: pared interna y externa del tubo pulida con llama, lisa sin burbujas, arañazos o micro grietas, excelente transmisión de luz UV y visible.
- Personalización estructural: soporte de brida única, bridas dobles, fondo de cúpula cerrado, estructura resistente a la alta presión de pared gruesa según los requisitos del dibujo del cliente.
Entrega y efecto de la operación real
Terminamos la confirmación de la muestra, el pedido de prueba y la producción en masa en 12 días hábiles, completamos la inspección dimensional completa, la prueba de envejecimiento a alta temperatura y la prueba de estanqueidad al vacío antes del envío. Tras la instalación del cliente y el funcionamiento continuo a largo plazo:
- cero fugas bajo vacío elevado y temperatura de trabajo continua de 1150°C;
- No hay grietas después de más de 100 ensayos de ciclo térmico, la vida útil se incrementa en más de 3 veces;
- Precipitación cero impurezas, rendimiento del producto de obleas mejorado en un 16%;
- El tamaño estándar de la brida coincide perfectamente con las piezas de sujeción y sellado existentes del cliente, reduciendo en gran medida el tiempo de montaje del equipo.
